A propos de la caractérisation des condensateurs MIM sur substrat de silicium

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wizardz

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Condensateurs MIM sur substrat de silicium ou d'autres ont deux plaques métalliques entre isolant (maintenant commutateurs MEMS STUCTURES et les condensateurs accordables sont similaires)

pour caractériser ce type de dispositif, mai être nous pouvons utiliser un port S-paramètres ou les deux ports S-mesures des paramètres et les deux peuvent être utilisées pour calculer le C et Q valeur.
cette relation est vérifiée:
S11oneport = S11 - S12 * S21 / (1 S22)
Sij-deux-port S-parameters

mais je pense que peut-être qu'ils peuvent parvenir à des résultats différents, comme dans de nombreuses configurations de circuit (par exemple des filtres) Casquettes MIM ont habituellement un métal argenté à la terre (habituellement la plaque de fond), donc les effets de substrat sont blindés.Ainsi, ces dispositifs ne peut être qualifié dans deux ports mesures S.Comme dans cette technique de mesure, le métal fond ne protègent pas et compter dans le couplage substrat sévère.

Pouvez-vous me donner quelques commentaires sur le point au-dessus de vue.

 

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