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dinesh hegde
Guest
Quoi type de charges (positive ou négative) dans les violations des résultats d'antenne? Je suppose que c'est à la fois, mais j'ai besoin de confirmation dans le processus réel.
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Y
yashiro
Guest
Il ne peut pas être à la fois dans le même tôle, telle qu'elle se compensent mutuellement. Tout dépend des produits chimiques utilisés dans le processus., De sorte qu'il peut être à la fois positive ou négative. Néanmoins, il n'a pas d'importance, l'effet sera le même.
E
erikl
Guest
Au cours d'ions etch positive charge s'accumule. Au cours de la CMP (ou plus exactement: après CMP, au cours de plaquette de nettoyage et de séchage) soit pos. ou nég. accumulation de charge peut se produire, en tant que [je] Yashiro [/I] a noté ci-dessus.Quel type de charges (positives ou négatives) des résultats dans les violations des antennes?
D
dinesh hegde
Guest
Merci, on ajoute habituellement une diode d'antenne pour s'acquitter des charges. Si les deux types de charges est accumulé alors comment l'opération diode sera? Mes hypothèses, (diode est placée sur le substrat p-) Cas 1: Le métal est chargé d'ions négatifs, puis, la diode est polarisée en direct et il exerce les charges accumulées. Cas 2: Si le métal est chargée avec des ions positifs puis, la diode est polarisée en inverse, ce courant sera suffisant pour s'acquitter des charges accumulées?
E
erikl
Guest
Pour une grande zone antenne? Je ne voudrais pas compter sur elle. Dans ce cas, j'ai utilisé pour ajouter un + p deuxième puits n diode (n-bien relié à la DMV, bien sûr).Cas 2: Si le métal est chargée avec des ions positifs puis, la diode est polarisée en inverse, ce courant sera suffisant pour s'acquitter des charges accumulées
Y
yashiro
Guest
Les charges accumulées créera un potentiel de plusieurs centaines ou des milliers de volts de sorte que la diode fonctionne en? soit avant ou inversée de polarisation et à ce niveau de tension il sera ouvert de toute façon. Si elle sera polarisée il ouvrira aux alentours de 0,6 V Si elle sera annulée biaisé, il aura une tension d'ouverture de l'ordre de-60V (cela dépend de la technologie et la taille de diode)Merci, Cas 1: Le métal est chargé d'ions négatifs, puis, la diode est polarisée en direct et il exerce les charges accumulées. Cas 2: Si le métal est chargée avec des ions positifs puis, la diode est polarisée en inverse, ce courant sera suffisant pour s'acquitter des charges accumulées
E
erikl
Guest
... et la grille est connectée seront détruits: triste :: evil:... Si elle sera annulée biaisé, il aura une tension d'ouverture de l'ordre de-60V (cela dépend de la technologie et la taille diode)
D
dick_freebird
Guest
La diode ne dispose pas de beaucoup de courant à traiter, et très probablement l'UV / rayons X mous de la générateur de plasma, il sera procéder à l'abondance dans les deux sens. Vous seulement besoin d'un chemin de dérivation non-isolante sur n'importe quel oxyde de grille (si pour les bits métalliques minuscules, courant tunnel seul peut suffire, ce qui explique pourquoi il ya une longueur inférieure à laquelle vous n'êtes pas sonné).
D
dinesh hegde
Guest
Que plaquette est mise à la terre au cours des étapes de traitement de plaquettes?
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erikl
Guest
Au cours de gravure par plasma dans tous les cas:? C'est la cathode du système etch. HV ions d'accélération est nécessaire pour obtenir l'énergie nécessaire etch + gravure perpendiculaire.Que plaquette est mise à la terre au cours des étapes de traitement de plaquettes