Pourquoi avons-nous besoin de SiO2 sur un substrat de silicium pour antenne microruban Micromachined?

[ihamieh]

Hé les gars, je ne suis pas sûr pourquoi avons-nous besoin SiO2 sur un substrat de silicium pour antenne microruban Micromachined? J'ai conçu une antenne réseau rectangulaire sur un substrat de silicium avec une cavité d'air, mais ce que j'ai vu sur les documents multiples qu'ils utilisent une mince couche de SiO2 sur le dessus du substrat de Si pour une raison quelconque. Quelqu'un sait? Je vous remercie de l'aide Merci, Sam

 

[yadavvlsi]

antenne réseau à cavité entrefer est difficile à fabriquer. Structure suspendue peut se briser au cours de procédé de gravure en raison de son propre poids.

 

[ihamieh]

Bonjour Yadavvlsi Donc, nous aurons à éliminer le dioxyde de silicium (SiO2) après avoir déposé le patch? La seule chose qui me trouble, c'est que je ne suis pas sûr pourquoi la plupart des papiers utilisés SiO2 sur un substrat de silicium sans utiliser cette couche dans le calcul (patch et les dimensions nourris encadré)! S'il vous plaît conseils,

 

[yadavvlsi]

Les gens ne donne toutes les informations dans les documents de recherche. Ils façon calculer l'épaisseur, mais ne lui donnez pas de document de recherche. Soit ils utilisent la simulation pour le faire ou quelque frappé et le procès (en changeant l'épaisseur SiO2 dans la fabrication elle-même). S'ils donne toutes les données dans le document, n'importe qui peut reproduire leur travail.

 

[ihamieh]

bonjour Yadavvlsi, Pensez-vous que nous pouvons omettre l'SiO2 du processus de fabrication, si nous avons une épaisseur suffisante de Si sous le patch? Je pense à 250 um d'épaisseur de Si sous le timbre et 250 um de la cavité de l'air! S'il vous plaît conseils, Merci, Sam

Les gens ne donne toutes les informations dans les documents de recherche. Ils façon calculer l'épaisseur, mais ne lui donnez pas de document de recherche. Soit ils utilisent la simulation pour le faire ou quelque frappé et le procès (en changeant l'épaisseur SiO2 dans la fabrication elle-même). S'ils donne toutes les données dans le document, n'importe qui peut reproduire leur travail.

 

[yadavvlsi]

Êtes-vous un chercheur? Quel outil que vous utilisez pour la conception? Pouvez-vous poster une capture d'écran de votre conception.? Y at-il une raison particulière pour l'utilisation de lame d'air non SiO2?