Quelle est la densité de courant maximale pour les résistances de poly?

D

DoctorX

Guest
J'essaie de faire une résistance de 50 ohms pour les poly sur-puce de résiliation, sous l'impulsion de + / - 100 mV. J'ai déjà abaissé l'amplitude de réduire la dissipation de puissance. Quelle est la règle générale de pouce pour la densité de courant maximale pour résistance de précision poly sans elle exploser? Je n'ai pas trouvé d'info tels du fournisseur, mais je suppose que je peux trouver de l'épaisseur de poly quelque part, si quelqu'un peut m'en dire un max largeur actuelle par unité avec une épaisseur estimée poly. Merci à tous.
 
Pour les résistances poly densité de courant (J) dépendent de la résistance de couche (ρ). Par exemple, si ρ = 20 Ω / sq que J = 1 mA / um, si ρ = 600 Ω / sq que J = 0,1 mA / um, si ρ = 3,5 kQ / sq que J = 0,02 mA / um.
 
Merci, beaucoup. Il me semble qu'il ya environ une puissance maximale par unité de surface, n'est-ce pas? Pour les trois cas, j'ai obtenu: si ρ = 20 Ω / sq que J = 1 mA / um, P = 2e-5 W / m² euh, si ρ = 600 Ω / sq que J = 0,1 mA / um, P = 6e -6 W / m² euh, si ρ = 3,5 kQ / sq que J = 0,02 mA / um, P = 1.4e-6 W / um carrés raison d'autres facteurs, cette puissance maximale varie un peu selon le dopage poly et processus. Ai-je bien compris?
 
Eh bien, je suis d'accord en quelque sorte. Il dépend de feuille de Rho, mais est aussi très dépendant de l'épaisseur du film. C'est pourquoi la densité de puissance est différente. Les trois films sont différents en dehors de la résistivité. Électromigration est une question précise. Rappelez-vous que la résistance de feuille "ohms par carré» est une règle de deux D. La variabilité provient des variations résistance de gravure dans les largeurs, mais aussi l'épaisseur du film. Diluant films ne seront pas capables de supporter des densités de courant.
 
Grand, de sens pour moi. Il ya aussi un dicton que les résistances poly sont moins sujettes à l'échec sous des courants de haute par rapport au métal (AL) résistances. Est-ce parce poly conserve sa meilleure forme sous haute température, tandis que le métal ne fait pas? Merci.
 

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