Quelle est l'utilisation de tampons couche de nitrure de silicium

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praveen_akshay

Guest
Quelle est l'utilisation de tampons couche de nitrure de silicium en technologie CMOS VLSI fabrication

 
Il s'agit d'un oxyde de elemnet borne de grille comme un substitut pour le silicium oxyde de di .... puisque c'est avoir la constante diélectrique, il réduit la tension de seuil du dispositif MOS qui conduit à une faible consommation électrique ainsi que la réponse rapide .. espérons qu'il est correct ...

 
Je pense que c'est utilisé pour l'oxydation sélective.oxyde de silicium ne poussent pas sur de nitrure de silicium de sorte qu'il peut être utilisé comme une sorte de masque.

 
faire de nitrure de silicone d'une couche de SiO2 Si3N4 et dont la constante diélectrique est environ deux fois celle de aloneso SiO2 Vt pourrait être deacresed dans MOS dispositifAjouté après 47 secondes:faire de nitrure de silicone d'une couche de SiO2 Si3N4 et dont la constante diélectrique est environ deux fois celle de SiO2 seul, alors Vt pourrait être deacresed dans MOS dispositif

 

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