Qu'est-ce que le nitrure de bord veut dire?

[ee484]

Qu'est-ce que le nitrure de bord veut dire? Pourriez-vous s'il vous plaît me donner une bonne référence avec la figure qui définit bord de nitrure? Merci, Best, B

 

[ashutoshdeenanath]

Fox utilisé pour faire séparation entre les dispositifs sur substrat. mais la hauteur de ce renard sera apprx. 6000A. cette hauteur ne peut pas beaucoup eatch. afin d'éviter d'augmenter le renard sur la zone active, la zone active peut être défini par nitrure. le renard ne peut pas croître de nitrure et il y aura une hauteur de nitrure de petite. après une croissance de nitrure de renard peut eatch facilement. et que cette zone se définir la zone active pour NMOS et PMOS.