Question sur le processus de fabrication

[Anachip]

Salut les gens,

Je voudrais savoir pourquoi le processus de SiGe est cher par rapport aux processus CMOS?En quoi ils sont différents qui font le prix de fabrication de différencier entre eux.Merci.

Anachip.

 

[gafsos]

Salut,
silicium-germanium (SiGe) est l'un de ces matériaux prolifèrent.En comparaison avec le silicium, SiGe offre porte une plus grande mobilité, une propriété importante pour la réalisation de dispositif de commutation haute vitesse et faible consommation d'énergie.Les récents succès dans l'intégration SiGe en production CMOS conventionnels ont abouti à son utilisation accrue dans les processus de pointe.
En plus de ses avantages, toutefois, SiGe présente des défis de mesure nombreuses.Epaisseur du film, la concentration de germanium, de défauts, déformation de réseau et de la rugosité de surface, les paramètres ne sont généralement pas surveillés dans la production de Si-doivent être contrôlés pour SiGe.Certaines de ces mesures doivent être effectuées sur des empilements multicouches ultraminces, qui aggrave les défis.Et toutes les mesures doivent être effectuées d'une manière non destructive, à haut débit et sur des tranches de production, de minimiser les coûts, un élément clé pour la fabrication de plaquettes de 300 mm.

SALAM