TSMC 0.18um description de flux de processus

[field_catcher]

Chers tous, je fais TSMC 0.18um aménagement. Je pense que ce serait bien si je peux avoir la description détaillée des flux de processus, afin que je puisse visualiser quand je dessine. Qu'est-ce que je peux trouver est une très brève description de l'enchaînement des opérations avec beaucoup d'abréviations, il est très frustrant de comprendre le processus d'elle. Quelqu'un peut-il aider?

 

[eng]

Bonjour, J'ai demande similaire pour 0,18 um processus IBM CMOS 7RF. Toute aide sera très appréciée.

 

[Colbhaidh]

J'ai posté il ya quelque temps mais ne savez pas comment pointer à un poste précédent. Pas sûr si c'est ce que vous demandez et il ne comprend pas la métallisation arrière qui est facile à visualiser.

 

[steer]

Excellente doc! Pourriez-vous après une partie backend de lui aussi bien? [Size = 2] [color = # 999999] Ajouté après 2 heures 18 minutes: [/color] [/size] Après un examen plus approfondi, le doc ne mentionne pas l'étape implants halo. Est-il vraiment de flux 0.18um?