Y at-il des problèmes dans cette mise en page?

[renwl]

Metal 4
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via3
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metal3
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via2
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métal 2
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VIA1
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metal1
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Contact
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poly2
poly1

Je tiens à tirer un trait sur le métal 4 depuis le condensateur Poly double.Yat-il des problèmes quand il ya tant de vias la poly?est-il fiable sur le processus?

 

[eeliuliu]

mai il augmenter la résistance série et une casquette parasitaires.Si votre fréquence de travail n'est pas très élevé, je pense que c'est ok!

 

[renwl]

frequecny est le circuit de basse fréquence.
parce que le processus de Vias besoin de chaleur et de la CMP, les vias plus signifier plus étapes du processus de la poly.Je veux savoir, est-il affecter la reliablity?
merci

 

[pyth2004]

Salut,

Le processus que vous avez utilisé est le polissage chimique et mécanique?si non, la surface des couches métalliques supérieure ne sera pas plat en particulier sur le dessus du bouchon Poly double.Elle cause plus de gravure de fils de métal sur la bordure de la PAC poly et ne serait-il coupé.

renwl a écrit:

Metal 4

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via3

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metal3

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via2

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métal 2

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VIA1

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metal1

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Contact

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poly2

poly1Je tiens à tirer un trait sur le métal 4 depuis le condensateur Poly double.
Yat-il des problèmes quand il ya tant de vias la poly?
est-il fiable sur le processus?

 

[renwl]

Je ne connais aussi le processus d'utilisation du PMC ou non.
comment puis-je savoir?
Je pense que c'est une étape de processus standard, non?

 

[williamy]

maintenant dans le processus standard VLSI, la CMP est souvent utilisé.En outre, vous pouvez également l'agencement Vias